സെമികണ്ടക്ടർ ഗ്യാസ് ഡെലിവറി സിസ്റ്റങ്ങൾക്കായുള്ള ഉയർന്ന പ്രകടനമുള്ള IGS സർഫേസ് മൗണ്ട് സി സീൽ ഫിൽട്ടറുകൾ
വിവരണം
സെമികണ്ടക്ടർ OEM ടൂളുകളിൽ ഉപയോഗിക്കുന്ന സംയോജിത ഗ്യാസ് സിസ്റ്റങ്ങളുടെ ആവശ്യകതകൾ നിറവേറ്റുന്നതിനാണ് HENGKO സർഫേസ് മൗണ്ട് ഫിൽട്ടറുകൾ രൂപകൽപ്പന ചെയ്തിരിക്കുന്നത്. 0.003 µm-ൽ വ്യവസായ-പ്രമുഖ ഫിൽട്ടറേഷൻ വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്ന ഈ ഫിൽട്ടറുകൾ, 120 slpm-ൽ ≥99.9999999% (9-LRV) എന്ന കണികാ ഇന്റർസെപ്ഷൻ കാര്യക്ഷമതയോടെ അസാധാരണമായ പ്രകടനവും വിശ്വാസ്യതയും ഉറപ്പാക്കുന്നു.
ഫിൽറ്റർ എലമെന്റിനും ഹൗസിംഗിനുമായി സിന്റർ ചെയ്ത കരുത്തുറ്റ 316L സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ പൗഡർ ഉപയോഗിച്ച് നിർമ്മിച്ച ഈ ഫിൽട്ടറുകൾ SEMI F86-0304 സ്പെസിഫിക്കേഷനുകൾക്ക് അനുസൃതമാണ്, സി-സീൽ കോൺഫിഗറേഷനോടുകൂടിയ 1.125" ഗ്യാസ് ഡിസ്ട്രിബ്യൂഷൻ സിസ്റ്റങ്ങൾക്കായി രൂപകൽപ്പന ചെയ്ത രണ്ട്-പോർട്ട് ഘടകങ്ങൾ ഇതിൽ ഉൾപ്പെടുന്നു. 100°C-ൽ 3.4 MPa പരമാവധി ഇൻലെറ്റ് മർദ്ദവും 100°C-ൽ 0.69 MPa പരമാവധി ഓപ്പറേറ്റിംഗ് മർദ്ദ വ്യത്യാസവും അവ പിന്തുണയ്ക്കുന്നു.
സി-ടൈപ്പ്, ഡബ്ല്യു-ടൈപ്പ് സീൽ സ്പെസിഫിക്കേഷനുകളുമായി പൊരുത്തപ്പെടുന്ന ഈ പ്രത്യേക ഫിൽട്ടറുകൾ, കണികാ പ്രകാശനം വഴി ഡൗൺസ്ട്രീം ശുചിത്വം കൈവരിക്കുന്നു.
Ra യുടെ ഉപരിതല ഫിനിഷോടെപുറംഭാഗത്ത് < 1.6 µm ഉം Raഅകത്തളത്തിൽ < 0.13 µm, 460°C വരെ ഉയർന്ന താപനിലയെ നേരിടാൻ രൂപകൽപ്പന ചെയ്‌തിരിക്കുന്ന ഇവ എളുപ്പത്തിലുള്ള സംയോജനത്തിനും മോഡുലാർ ഡിസൈൻ അപ്‌ഗ്രേഡുകൾക്കുമായി രൂപകൽപ്പന ചെയ്‌തിരിക്കുന്ന ഈ ഫിൽട്ടറുകൾ ഇൻസ്റ്റാളേഷനും പരിപാലനവും ലളിതമാക്കുന്നു, സെമികണ്ടക്ടർ ഗ്യാസ് ഡെലിവറി, കൺട്രോൾ ആപ്ലിക്കേഷനുകളിൽ സിസ്റ്റം പ്രകടനം ഒപ്റ്റിമൈസ് ചെയ്യാൻ സഹായിക്കുന്നു.
ഉൽപ്പന്ന സവിശേഷത
▶ മൊത്തത്തിലുള്ള 316L സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ നിർമ്മാണം
▶ മിനിയേച്ചറൈസ്ഡ് ഡിസൈൻ, ഒതുക്കമുള്ള ഘടന, സ്ഥലം ലാഭിക്കൽ
▶ മികച്ച ഗ്യാസ് റീപ്ലേസ്‌മെന്റ്, ഡിസോർപ്ഷൻ സവിശേഷതകൾ
▶ ഉയർന്ന താപനില, ഉയർന്ന മർദ്ദം, നാശന പ്രതിരോധം
▶ ഇലക്ട്രോ-പോളിഷ് ചെയ്ത 316L സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ ഭവനം
▶ എളുപ്പവും കാര്യക്ഷമവുമായ ഇൻസ്റ്റാളേഷനും പരിപാലനവും
▶ മെക്കാനിക്കൽ സീലിംഗ്, ഘടനാപരമായി മീഡിയത്തിലേക്ക് വെൽഡ് ചെയ്യാത്തത്
ഡാറ്റ ഷീറ്റ്
| സാങ്കേതിക പാരാമീറ്ററുകൾ | മൂല്യങ്ങൾ |
|---|---|
| ഫിൽറ്റർ എലമെന്റ് മെറ്റീരിയൽ | 316L സ്റ്റെയിൻലെസ്സ് സ്റ്റീൽ സിന്റേർഡ് പൗഡർ |
| ഭവന സാമഗ്രികൾ | 316L സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ |
| പരമാവധി ഇൻലെറ്റ് മർദ്ദം | 3.4 MPa @ 100°C |
| പരമാവധി ഓപ്പറേറ്റിംഗ് ഡിഫറൻഷ്യൽ | 100°C ൽ 0.69 MPa |
| ഹീലിയം പരിശോധനാ ചോർച്ച നിരക്ക് | 1x10⁻¹¹ സിസി/മിനിറ്റ് |
| ഹീലിയം പരിശോധനാ ചോർച്ച നിരക്ക് | 1x10⁻⁹ സിസി/മിനിറ്റ് |
| ഉപരിതല ചികിത്സ | പുറം ഉപരിതലം Ra< 1.6 μm |
| ആന്തരിക ഉപരിതല Ra< 0.13 μm | |
| പരമാവധി പ്രവർത്തന താപനില | 460°C താപനില |
| കണികാ ഇന്റർസെപ്ഷൻ കാര്യക്ഷമത | ≥99.9999999% (9-LRV) @ 120 slpm (റഫറൻസ് MPPS, എല്ലാ കണികകളും) |
| ഡൗൺസ്ട്രീം ശുചിത്വം | കണികാ പ്രകാശനം:< 0.03 കണികകൾ/ലിറ്റർ (< 1 കണിക/അടി³) |
| ബാഷ്പീകരണ പദാർത്ഥങ്ങൾ:10 പിപിബി ഈർപ്പം | |
| കണികാ ഇന്റർസെപ്ഷൻ വലുപ്പം | ≥0.003 μm |
| ഫ്ലോ ശ്രേണി | 0 ~ 120 എസ്എൽപിഎം |
വലുപ്പം
നിങ്ങൾക്ക് ഓർഡർ ചെയ്യാവുന്ന പാർട്ട് നമ്പറും വലുപ്പ വിശദാംശങ്ങളും ഇതാ:
| ഉൽപ്പന്ന മോഡൽ | ഒഴുക്ക് നിരക്ക് | ഉയരം H (മില്ലീമീറ്റർ) | ഫിൽട്രേഷൻ കൃത്യത | ക്ലീനിംഗ് ലെവൽ |
|---|---|---|---|---|
| Z01B-00637 എന്ന ഉൽപ്പന്നത്തിന്റെ വില | 10 എസ്എൽപിഎം | 51.6 स्तुत्र | 0.003 മൈക്രോമീറ്റർ | C |
| Z01B-00638 ന്റെ സവിശേഷതകൾ | 40 എസ്എൽപിഎം | 82.9 स्तुत्र82.9 | 0.003 മൈക്രോമീറ്റർ | C |
| Z01B-00687 ഉൽപ്പന്ന വിശദാംശങ്ങൾ | 80 എസ്എൽപിഎം | 126.2 (126.2) | 0.003 മൈക്രോമീറ്റർ | C |
| Z01B-00688 എന്ന ഉൽപ്പന്നത്തിന്റെ വില | 120 എസ്എൽപിഎം | 167.9 ഡെൽഹി | 0.003 മൈക്രോമീറ്റർ | C |
സാധാരണ ആപ്ലിക്കേഷനുകൾ
W-സീൽ, C-സീൽ എന്നിവയിൽ ഉപയോഗിക്കുന്നതിന്, 1.125”, 1.5” സർഫേസ് മൗണ്ട് മോഡുലാർ ഗ്യാസ് ഡെലിവറി സിസ്റ്റങ്ങൾ.
നിങ്ങളുടെ സന്ദേശം ഞങ്ങൾക്ക് അയക്കുക:
